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淺析微透鏡陣列的加工技術(shù)

更新時(shí)間:2022-08-27點(diǎn)擊次數(shù):2104
  隨著微納技術(shù)的發(fā)展,我們會(huì)看到很多非常有意思的一些結(jié)構(gòu)(如抗反射、抗菌結(jié)構(gòu)、菲尼爾透鏡,納米光柵結(jié)構(gòu)等),在我們的實(shí)際生活中得到廣泛的應(yīng)用,同時(shí)也為我們的生活帶來(lái)了很多變化如,裸眼3D、AR/VR技術(shù)等。
  微透鏡結(jié)構(gòu)可以應(yīng)用在防偽膜中的動(dòng)感膜、顯示中的裸眼3D、Micro-LED等。今天我們就泛泛的探討一下微透鏡陣列的加工技術(shù)解析。
  微透鏡加工方法:
  機(jī)械加工法
  這是一種比較早期的微透鏡加工方法,其優(yōu)點(diǎn)是簡(jiǎn)單易行,利用高精度CNC工具可以挖出對(duì)應(yīng)的微透鏡結(jié)構(gòu),或者利用更為精密的單點(diǎn)金剛車(chē)工具挖出微球凹坑結(jié)構(gòu),當(dāng)然前面的加工技術(shù)都是基于模具的加工,再配合注塑工藝或者熱壓成型獲得帶有微透鏡陣列的板材或者型材。
  熱回流法
  熱回流是當(dāng)前比較流行的一種微透鏡陣列結(jié)構(gòu)的加工方法。其過(guò)程是利用光刻膠曝光顯影后形成圓柱或者特定形狀的柱子陣列結(jié)構(gòu),通過(guò)加熱后讓光刻膠達(dá)到并超高其玻璃態(tài)轉(zhuǎn)變溫度后軟化,在其表面張力的作用下形成微透鏡陣列(如下圖2所示)。再配合電鑄工藝實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)向模具的轉(zhuǎn)化,最后利用注塑或者納米壓印的方式進(jìn)行大批量的復(fù)制生產(chǎn)。這里需要說(shuō)明的是,新一代PhableR紫外光刻機(jī)已經(jīng)可以使用紫外光源獲得百納米以下的周期性結(jié)構(gòu),這意味著,原理上我們可以獲得納米口徑的微透鏡陣列結(jié)構(gòu)。另外,對(duì)光刻熟悉的人可能會(huì)比較關(guān)注高溫自處理后光刻膠去除問(wèn)題,這里我們可以選擇使用成熟的Alpha plasma微波等離子去膠機(jī)來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)光刻膠的有效去除,且不損傷金屬模具。
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